84 | РЕАКТОРЫ ЯДЕРНЫЕ, КОТЛЫ, ОБОРУДОВАНИЕ И МЕХАНИЧЕСКИЕ УСТРОЙСТВА; ИХ ЧАСТИ |
8486 | МАШИНЫ И АППАРАТУРА, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ИЛИ В ОСНОВНОМ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ БУЛЕЙ ИЛИ ПЛАСТИН, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, ЭЛЕКТРОННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ИЛИ ПЛОСКИХ ДИСПЛЕЙНЫХ ПАНЕЛЕЙ; МАШИНЫ И АППАРАТУРА, ПОИМЕНОВАННЫЕ В ПРИМЕЧАНИИ |
848620 | МАШИНЫ И АППАРАТУРА, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ИСКЛЮЧИТЕЛЬНО ИЛИ В ОСНОВНОМ ДЛЯ ПРОИЗ ВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ БУЛЕЙ ИЛИ ПЛАСТИН, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ЭЛЕКТРОННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ИЛИ ПЛОСКИХ ДИСПЛЕЙНЫХ |
84862090 | МАШИНЫ И АППАРАТУРА ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА БУЛЕЙ ИЛИ ПЛАСТИН, ПРОЧИЕ |